產品說明:

• 自動化上下料
• 晶圓篩選機(Wafer Sorter) /
• 晶圓裝卸機(Load port) /
• 晶圓傳送機 (EFEM)

產品規格:

1.標準機台

2.機台客製化/自動化設計開發

功能簡介:

1.標準化模組提供給機台組立搭配使用

2.依客戶需求提供搭配串聯製程站間之傳送

3.可選配SECS/GEM功能