產品說明：

• 特徵
  1.  籠處理(並列)方式
  2.  上方走行型掛架方式
  3.  自動Loading方式
  4.  小型設計、占地面積小
  5.  運轉數據履歷管理機能
  6.  環境對策用防塵圍(推拉方式)
• 能力
  1.  處理量:20000㎡/月
  2.  基板尺寸:500H×600W(標準400H×600W)
  3.  板厚:0.06t(含框)0.1t～1.6t

產品規格：客製化規格