製品説明：

• 特徴
  籠処理、並び式
  2.  上方走行型ラック式
  3.  自動Loading式
  4.  小型設計、所要敷地面積小
  5.  運転データ履歴管理機能
  6.  環境対策用防埃囲(推引く式)
• 能力
  処理量：20000㎡/月
  2.基板寸法：:500H×600W(標準400H×600W)
  3.基板厚み：0.06t(匡含む)0.1t~1.6t